日立热场扫描电镜SU7000 SU7000采用全新设计的探测器，使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统，可在不改变WD的条件下更高效地接收各种信号，缩短了样品观察和分析的时间，提高了测试效率。它还标配超大样品仓，增设了附件接口，可适用于各种样品的观察与分析。

日立高分辨冷场发射扫描电镜SU9000 SU9000是世界上二次电子分辨率（0.4nm@30kV）和STEM分辨率（0.34nm@30kV）的扫描电镜。它采取了*的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能优异，而且作为冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作，可以快速稳定的进行超高分辨成像。